수강기간
30일
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프로젝트/과제
3개
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강의구성
21차시
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마감 | 기수 | 신청기간 | 학습기간 | |
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강의 준비 중입니다. |
차시 | 차시명 | 학습시간 |
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사전평가 | 반도체 공정/설비: 기초이론 및 실무응용 - 사전 평가 | 응시 |
1차시 | 반도체 기초 이론: 공정 개요 | 21분 21초 |
2차시 | 반도체 기초 이론: 설비 & Utility | 23분 57초 |
3차시 | 반도체 기초 이론: 진공 & 진공 펌프 | 12분 41초 |
4차시 | 반도체 기초 이론: 진공의 특성 | 15분 42초 |
5차시 | 반도체 기초 이론: 플라즈마 | 30분 18초 |
6차시 | 반도체 핵심 공정: 포토 공정(1) | 16분 1초 |
7차시 | 반도체 핵심 공정: 포토 공정(2) | 19분 53초 |
8차시 | 반도체 핵심 공정: 포토 공정 - 노광 공정 | 30분 45초 |
9차시 | 반도체 핵심 공정: 포토 공정 - EUV 공정 | 13분 19초 |
과제 | [프로젝트 1] 포토 공정 미세 패턴 형성 | 30점 |
10차시 | 반도체 핵심 공정: 식각 공정 - 정의 및 종류 | 14분 12초 |
11차시 | 반도체 핵심 공정: 식각 공정 - 특성 & Issue | 11분 18초 |
12차시 | 반도체 핵심 공정: 식각 공정 - 건식 식각 | 24분 18초 |
13차시 | 반도체 핵심 공정: 박막 공정 - PVD | 26분 6초 |
14차시 | 반도체 핵심 공정: 박막 공정 - CVD | 32분 57초 |
과제 | [프로젝트 2] Trench 구조 식각 공정 방법 | 30점 |
15차시 | 반도체 핵심 공정: 배선 공정 - Al 배선 공정 | 17분 37초 |
16차시 | 반도체 핵심 공정: 배선 공정 - Damascene 공정 | 12분 41초 |
17차시 | 반도체 핵심 공정: 산화 공정 | 25분 55초 |
18차시 | 반도체 핵심 공정: 도핑 공정 - 정의 및 종류 | 15분 7초 |
19차시 | 반도체 핵심 공정: 도핑 공정 - 이온주입 공정 | 17분 21초 |
20차시 | 반도체 핵심 공정: CMP 공정 | 12분 39초 |
21차시 | 반도체 핵심 공정: Cleaning 공정 | 14분 56초 |
과제 | [프로젝트 3] Damascene 공정 process flow 이해 | 40점 |